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           浙江博藍特半導體科技股份有限公司成立于2012年,公司采用國際領(lǐng)先的光學(xué)、半導體制備工藝技術(shù),利用先進(jìn)的新型半導體材料加工設備,致力于GaN基LED芯片(圖形化)襯底、第三代半導體材料碳化硅、MEMS智能傳感器的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化,在LED芯片(圖形化)襯底領(lǐng)域已發(fā)展成為國內排名前三的市場(chǎng)規模和行業(yè)地位。經(jīng)過(guò)多年穩健發(fā)展,公司形成了以金華為集團總部,下設金華博藍特新材料有限公司、浙江富芯微電子科技有限公司、金華富芯微納電子科技有限公司、黃山博藍特半導體科技有限公司、博藍特(蘇州)微電子技術(shù)有限公司、廈門(mén)立芯元奧微電子科技有限公司、博藍特半導體(深圳)有限公司等多家子公司,業(yè)務(wù)范圍遍布海內外。公司擁有省級院士專(zhuān)家工作站、省級企業(yè)研究院、省級高新技術(shù)企業(yè)研發(fā)中心、省級企業(yè)技術(shù)中心等研發(fā)平臺,并與中南大學(xué)、合肥工業(yè)大學(xué)、中科院物理所等科研院校合作,共同致力于科技成果產(chǎn)業(yè)化。公司相繼主持多項省市級重大科技研發(fā)項目,榮獲中國輕工業(yè)聯(lián)合會(huì )科學(xué)技術(shù)一等獎、省科技進(jìn)步一等獎、省技術(shù)發(fā)明三等獎、省科技成果獎、省級制造精品、省級專(zhuān)精特新企業(yè)、省級綠色工廠(chǎng)、省級節水標桿企業(yè)、連續三年納稅超千萬(wàn)、市優(yōu)秀企業(yè)(金星獎)、市級專(zhuān)利示范企業(yè)、開(kāi)發(fā)區工業(yè)十強企業(yè)、經(jīng)濟密度十強企業(yè)、開(kāi)發(fā)區政府質(zhì)量獎。主持并參與國際行業(yè)標準制定6項,主持制定浙江制造標準1項,并通過(guò)產(chǎn)品品質(zhì)標認證。申報核心專(zhuān)利100余項。公司持續以領(lǐng)先的技術(shù)水平、雄厚的研發(fā)實(shí)力和卓越的管理理念為基礎,秉承“持續滿(mǎn)足客戶(hù)需求,為客戶(hù)創(chuàng )造獨特價(jià)值”的經(jīng)營(yíng)理念,以創(chuàng )新為核心,推動(dòng)企業(yè)高質(zhì)量發(fā)展,力爭成為全球領(lǐng)先的新型半導體材料及器件供應商。

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    公司采用國際先進(jìn)的半導體加工技術(shù)及先進(jìn)的硬脆材料加工設備,致力于藍寶石襯底、碳化硅襯底及圖形化藍寶石襯底的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。

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    浙江博藍特半導體科技股份有限公司成立于2012年10月,總部坐落于國家級經(jīng)濟開(kāi)發(fā)區浙江省金華市。

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    浙江博藍特半導體科技股份有限公司成立于2012年10月,總部坐落于國家級經(jīng)濟開(kāi)發(fā)區浙江省金華市。

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用于機器人觸覺(jué)和非接觸距離感知的柔性雙模態(tài)傳感器

發(fā)布時(shí)間:2024/3/3 10:51:53 瀏覽次數:2173

具有非接觸式傳感功能的柔性傳感器的開(kāi)發(fā)仍然是觸覺(jué)感知的技術(shù)挑戰。對于傳統的非接觸式傳感,通常使用視覺(jué)識別和聲學(xué)反射檢測。視覺(jué)識別檢測更適合長(cháng)距離檢測,長(cháng)距離檢測受分辨率限制,通常會(huì )被短距離內的其他事物遮擋。聲反射檢測既可以用于短距離檢測,也可以用于長(cháng)距離檢測,但發(fā)射超聲波相對較高的功耗將極大地限制其應用場(chǎng)景。此外,傳統的非接觸式傳感方法通常難以應用于柔性傳感器中。

近期,浙江大學(xué)機械306實(shí)驗室陳志堅碩士提出了一種新型的柔性雙模態(tài)傳感器,該傳感器具有高靈敏度的接觸式壓力傳感和精確的非接觸式距離檢測功能,用于智能機器人感知。相關(guān)研究成果總結成論文“Highly sensitive and flexible dual-mode sensor with contact and contactless sensing abilities for robotic perception”,發(fā)表在國際期刊 Journal of Intelligent Manufacturing 上。論文研究工作得到了國家自然科學(xué)基金、東海實(shí)驗室科學(xué)基金、中央高?;A研究基金等項目的資助。
 

本文所提出的傳感器結構如圖1所示。柔性傳感器上層為3×3的基于電場(chǎng)檢測原理的平面叉指電極陣列,用于測量非接觸距離信息。下層為4×4的截錐形壓力傳感單元,用于測量外部接觸壓力。兩種感知單元都通過(guò)級聯(lián)組件和不同的檢測單元嵌套布置進(jìn)行封裝,目的是減少不同信號之間的干擾。傳感器的工作原理和制造流程如圖2和圖3所示。
 

制備的柔性雙模態(tài)傳感器具有0.33V/N的壓力檢測高靈敏度以及5.5N的壓力檢測范圍,4cm內對絕緣物體和導電物體均具有高靈敏距離檢測能力,此外傳感器還具有良好的信號穩定性和可重復性,傳感器的具體信號測試結果分別如圖4和圖5所示。

隨后將雙模態(tài)傳感器安裝在機械臂上,進(jìn)行物體的抓取和碰撞檢測實(shí)驗,如圖6和圖7的結果表明,該傳感器可以準確測量物體之間的分布接觸力和距離,實(shí)現全過(guò)程的觸覺(jué)感知,所提出的傳感器在機器人操縱和安全工作應用中具有巨大的潛力。

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